晶盛机电:300316晶盛机电投资者关系管理信息20251128

证券代码：300316 证券简称：晶盛机电
浙江晶盛机电股份有限公司投资者关系活动记录表
编号：2025-12
投资者关系活动 √特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会
类别 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 □电话会议 □其他
参与单位名称及 参见附件：参会投资者清单。
人员姓名
时间 2025 年 11 月 27 日
地点 电话会议
上市公司接待人
投资者关系 林婷婷
员姓名
1、请介绍一下碳化硅衬底材料的应用前景？
答：SiC 是第三代半导体材料的核心代表，因其耐高压、高频、
高效等特性，广泛应用于新能源汽车、智能电网、5G 通信等重点行
业。同时，在 AR 设备、CoWoS 先进封装中间基板等新兴应用领域，
SiC 也正逐步成为推动技术突破的关键材料。
2、请问公司 12 寸碳化硅衬底材料的进展？
投资者关系活动 答：9 月 26 日，公司首条 12 英寸碳化硅衬底加工中试线在子
主要内容介绍 公司浙江晶瑞 SuperSiC 正式通线，至此，子公司浙江晶瑞 SuperSiC
真正实现了从晶体生长、加工到检测环节的全线设备自主研发，100%
国产化，标志着晶盛在全球 SiC 衬底技术从并跑向领跑迈进，迈入
高效智造新阶段。未来，公司将加速推进产线的量产进程，为客户
提供高质量、低成本的大尺寸碳化硅衬底，携手产业链伙伴，共同
推动我国第三代半导体产业蓬勃发展。
3、可否展开介绍一下这次 12 英寸碳化硅衬底中试线的设备情况？
答:子公司浙江晶瑞 SuperSiC 此次贯通的中试线，覆盖了晶体
加工，切割，减薄，倒角，研磨，抛光，清洗，检测的全流程工艺，所有环节均采用国产设备与自主技术，高精密减薄机、倒角机、双面精密研磨机等核心加工设备更是由公司历时多年自研攻关完成，性能指标达到行业领先水平。自此，晶盛机电正式形成了 12 英寸SiC 衬底从装备到材料的完整闭环，彻底解决了关键装备“卡脖子”风险，为下游产业提供了成本与效率的新基准。
4、请问公司碳化硅衬底材料的产能布局？
答：公司积极布局碳化硅产能，在上虞布局年产 30 万片碳化硅衬底项目；并基于全球碳化硅产业的良好发展前景和广阔市场，在马来西亚槟城投建 8 英寸碳化硅衬底产业化项目，进一步强化公司在全球市场的供应能力；同时，在银川投建年产 60 万片 8 英寸碳化硅衬底片配套晶体项目，不断强化公司在碳化硅衬底材料领域的技术和规模优势。
5、请问公司 8 寸碳化硅衬底的技术和市场进展？
答：公司碳化硅衬底材料业务已实现 6-8 英寸碳化硅衬底规模化量产与销售，量产的碳化硅衬底核心参数指标达到行业一流水平，8 英寸碳化硅衬底技术和规模处于国内前列，公司积极推进碳化硅衬底在全球的客户验证，送样客户范围大幅提升，产品验证进展顺利，并成功获取部分国际客户批量订单。
6、请问公司半导体装备业务进展？
答：报告期内，公司依托半导体装备国产替代的行业发展趋势和机遇，积极推进半导体装备的市场推广。
在集成电路装备领域，公司自主研发的 12 英寸常压硅外延设备顺利交付国内头部客户，其电阻率、厚度均匀性、外延层缺陷密度、生产效率以及工艺重复性等关键指标达到国际先进水平。积极推进12 英寸干进干出边抛机、12 英寸双面减薄机等新产品的客户验证。
12 英寸硅减压外延生长设备顺利实现销售出货，设备采用单温区、
多温区闭环控温模式，结合多真空区间精准控压技术，确保外延生
长过程的高度稳定性，其独特的扁平腔体结构和多口分流系统设计，
能够显著提升外延层的膜厚均匀性和掺杂均匀性，满足先进制程的
高标准要求。成功开发应用于先进封装的超快紫外激光开槽设备，
填补国内高端紫外激光开槽技术领域的空白，实现国产替代。
在化合物半导体装备领域，公司紧抓碳化硅产业链向 8 英寸转
移的行业发展趋势，充分发挥在碳化硅产业链装备的核心技术优势，
加强 8 英寸碳化硅外延设备以及 6-8 英寸碳化硅减薄设备的市场推
广，积极推进碳化硅氧化炉、激活炉以及离子注入等设备的客户验
证，相关设备的市场工作进展顺利，为规模化量产奠定坚实基础。
在新能源光伏装备领域，公司持续加强研发技术创新，在产品
技术和工艺、自动化和智能化以及先进制造模式等领域持续进行创
新，以创新产品为下游客户提效。在电池端，持续完善金属腔、管
式、板式三大平台设备体系，针对 TOPCon 提效以及 BC 创新，积
极推进 EPD、LPCVD、PECVD、PVD 以及 ALD 等设备的市场推广
和客户验证，EPD 设备持续强化行业领先的技术和规模优势，ALD
设备验证良好，在推动产业创新的同时，助力公司高质量发展。
附件清单（如有） 参会投资者清单
日期 2025 年 11 月 27 日
参会投资者清单
序号 机构名称
1 长江证券
2 南方基金
3 博时基金
4 鹏华基金
5 太保资产
6 前海开源基金
7 农银汇理
8 国联安
9 中银基金
10 西部利得
11 弘尚资产
12 国寿安保基金
13 泓德基金
14 华商基金
15 长证国际
16 建信理财
17 百年保险资管
18 东兴基金
19 合众资产
20 光大保德信
21 国泰海通资管
22 龙航资产
23 正圆投资
24 东方基金
25 道生投资
26 双安资产
27 博裕资本
28 开思私募基金
29 仙人掌资产
30 三耕资产
31 国华兴益
32 诺安基金
33 华西基金
34 青骊投资
35 金融街证券
36 笃诚投资
37 誉辉资本
38 利位投资
39 五地
40 智诚海威
41 山海资本

42 博远基金
43 从容投资
44 磐泽资产
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