至纯科技:2025年1-3月投资者关系活动纪要

证券代码： 603690 证券简称：至纯科技
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
投资者关系活动记录表
投资者关系活动 √ 特定对象调研 □ 分析师会议
类别 □ 媒体采访 □ 业绩说明会
□ 新闻发布会 □ 路演活动
□ 现场参观 √ 券商策略会
√ 其他 （SEMICON 展会）
参与机构 富国基金、大成基金、国泰基金、博时基金、兴银基金、长城基
金、宝盈基金、鑫元基金、民生通惠基金、人保资产、新华资产、
信达澳亚基金、博衍基金、建信基金、深圳亚威投资、深圳创富
兆业、中食科创资产管理、康曼德资本、上汽颀臻资管、国金证
券自营部、银河证券自营部、上海沃珑港投资、原点资产、宁波
韦豪、六禾资本、博睿资本、钰浩资本、凯联资本、禹田资本、
沣沛投资、保宁资本、砺思资本、思博资产管理有限公司、
Balyasn 、 Invesco 、 Fourier Capital 、 Welight Capital 、
Toroa Management、FountainCap Research and Investment、浙商策
略会、申万策略会、长江策略会、中信策略会、国投证券、浙商
证券、中金证券、中泰证券、中邮证券、J.P. Morgan、UBS、
Morgen Stanley 等
时间 2025 年 1-3 月
地点 现场会议
上市公司接待人 董秘任慕华，证代张娟
员姓名
一、 公司基本情况介绍
投资者关系活动 公司主营业务主要包括半导体湿法工艺设备、高纯工艺设备
主要内容介绍 及系统的研发和生产销售，以及在半导体领域“工艺-设备-材料”
三位一体发展的本质驱动背景下由此衍生的电子材料、零部件及
专业服务。

公司在高纯工艺领域已经是国内头部专业厂商，持续服务于中芯国际、华虹集团、长鑫存储、长江存储、华为、华润、燕东、士兰微等集成电路用户。公司统计了从 2017-2024 年中国大陆主流 12 寸晶圆厂 40 多次特气系统的招标中，公司的市场份额接近50%，外资及中国台湾地区企业合计约 35%，中国大陆其他企业约15%。该业务公司也在持续进行在地化供应链建设，保证供应链的稳定及业务的连续性。公司在半导体领域高纯特气设备、高纯化学品设备累计出货量已经达到约 3.6 万台套，在这一轮半导体产业的发展中抓住了机会也贡献了力量。
在积累了核心能力的基础上，2017 年上市后，公司往当时难度更大、国内空白点多的工艺机台延伸，投入资源开发湿法清洗设备，聚焦晶圆制造的前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。目前公司可提供 28 纳米制程节点全部湿法工艺机台。湿法设备已经覆盖中芯系、华虹系、华为系、长鑫存储等国内头部集成电路客户。
从 2017 年至 2023 年，公司年度新增订单从 6.7 亿元攀升至
近 133 亿元，营业收入从 3.7 亿元增长到 31.5 亿元，息税折旧
及摊销前利润（EBITDA）从 0.8 亿元增长到 7.47 亿元，归母净
利润从 0.49 亿元提升至 3.77 亿元。2024 年度公司新增订单总
额为 55.77 亿元，其中来自集成电路行业的订单额占比达84.55%，其中服务于 12 英寸集成电路客户占比达 88.46%，且主要为代表先进制造要求的产业一线用户。在除去大宗气站、TGM、TCM 等电子材料及专项服务的长交期订单的影响后，2024 年新签订单与 2023 年相比实现了 18%的增长。
二、 交流的主要问题及回复概要
1、目前国际形势下，公司所使用的零部件进口是否受限？
答：2020 年 8 月公司预判国际形势变化趋势即已开始供应
链风险识别和管理，2021 年开始持续进行在地化供应链建设，保证供应链稳定，基本实现自主可控，通过订单牵引、合作开
发等一系列举措培养本土供应链的阶段目标已陆续达成。目前尚有部分分析、侦测类部件还在持续验证中，公司也很早就有充足的备货，公司有信心克服卡控持续为产业用户提供高质量
服务。2024 年 12 月初美国商务部将公司旗下 21 个经营主体纳
入实体清单，公司 4 年多前基于业务持续风险对于供应链在地化项目是未雨绸缪的决策，是对外界干扰最好的应对。
2、公司湿法清洗设备中的 SPM 机型进展如何？
答：SPM 高温硫酸清洗设备是公司的高端产品之一，公司于2022 年正式推出的 S300-SPM，成为国产首台应用于大规模量产线的 12 英寸硫酸清洗机。该机台月产能最高可达 6 万片次以上，截至 2024 年末单机台累计产量超过 70 万片次，该机型交付验证和贡献产能进度都在国内领先。
公司 S300-SPM 系列设备在客户端可以采用与国际大厂同样的 recipe 架构进行验证，在去除有机物效率、颗粒、蚀刻率、蚀刻均匀性等工艺指标也和日系大厂设备相匹配，第一台单片清洗设备从搬入到达成客户端的工艺指标，开始产品验证只用了两个多月的时间。凭借良好的性能表现，极大强化了对光刻胶的去除能力，缩短工艺时间，减少工艺步骤，已实现了对近十道刻蚀后清洗工艺的全覆盖。S300-SPM 系列设备已获得国内多家头部晶圆厂十数台订单并正在陆续交付中。
3、公司投资及并购威顿晶磷的考量？
答：公司长期看好电子材料领域，电子材料对于微纳污染控制技术是公司同能力圈业务，同时和公司众多长期优质用户有很好的协同效应，也是公司布局同能力圈扩展产品和服务贯穿用户资本开支和运营阶段全生命周期战略的重要一环。为进一步推动公司产业整合，完善产业链布局，公司上市后即着手在自建团队重资研发投入发展工艺机台的同时，寻求投资并购的方式延伸出电子材料新板块。从 2019 年接触威顿晶磷，至 2020 年，公司参与了威顿晶磷的 A 轮融资，成为威顿晶磷的第二大股东，并一直
有董事席位以重要股东身份参与其公司治理。威顿晶磷于 2023年 9 月进行了 IPO 辅导备案，公司乐见威顿晶磷展开上市计划，遂放弃并购计划并出售部分股权以降低持股比例。
近年来公司着力在电子材料领域进行布局， 2021 年公司进行大宗气站的新业务拓展，由公司投资和设计建设的国内首座12英寸晶圆的大宗气体供应工厂于 2022 年初顺利通气并稳定运行，成功打破了半导体级大宗气由国际供应商垄断的格局，实现了该制程节点国内自主大宗气站零的突破。目前公司第二座大宗气站已进入运营阶段。
2024 年以来，监管机构发布并购六条等一揽子措施，多措并举活跃并购重组市场，明确鼓励上市公司加强产业整合，更好发挥市场优化资源配置的作用，鼓励科技型企业开展同行业上下游产业并购。公司基于现有的战略布局及产业政策，积极寻求并购标的，加大在电子材料领域的布局。鉴于目前 IPO 进度较缓慢，公司在年初再次向威顿晶磷发出了收购的邀约，并得到其大股东的支持。威顿晶磷经过中介机构的上市辅导，系统性地加强了公司治理结构、内部控制制度、财务管理体系等各方面的规范性建设，且电子材料服务于半导体用户运营阶段，公司充分考量了半导体领域资本开支的周期性，决定收购威顿晶磷，使公司在用户不同生命周期均能为其提供产品及服务。
公司布局的大宗气站业务与威顿晶磷的电子材料业务均服务于客户运营阶段，公司收购威顿晶磷，属于公司现有业务的横向拓展，既是企业自身战略升级的必然选择，更是响应国家"强链补链"号召的典型实践。
4、目前与威顿晶磷业务相同的公司有哪些？
答：电子级化学品材料具有细分品类多、技术门槛高、客户覆盖广的特点。在半导体领域，国外可比公司的成立时间较早、技术积累深厚、产品覆盖广泛，国内的超净高纯电子材料公司与国际知名的可比厂商如德国林德集团、法国液化空气、美国空气
和日本大阳日酸等在经营规模、品牌声誉等方面存在一定差距。在先进工艺中的关键材料国产替代方面，威顿晶磷的产品可对标上述国际品牌。
半导体领域材料端，国内已有一些同行业公司，如雅克科技、南大光电、华特气体、中巨芯、中船特气等。
5、威顿晶磷的客户群体有哪些？
答：威顿晶磷自成立以来一直深耕电子材料产品，形成了成熟的研发生产一体化运营体系，产品已通过中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、芯联集成等知名晶圆代工厂商和隆基绿能、晶科能源等主要光伏生产厂商的验证并批量供货。威顿晶磷与公司的下游客户重合度高，并购完成后具有一定的客户协同性。6、并购完成后是否能在业务上相互促进？
答：公司所在的集成电路乃至泛半导体领域，均为“一代器件，一代设备材料”的演进，业务本质就是“工艺-设备-材
料”三位一体。公司的战略正是基于创始人及团队近 30 年在产业从业作为建设者、见证者和观察者，洞察这个本质并充分考量产业发展机会和资源，布局了“关注核心工艺、服务关键制程”的（大湿法）工艺设备、（高纯）工艺系统和（大宗）工艺材料专业服务商的定位。
公司致力于为集成电路及泛半导体产业客户提供制程设备、工艺系统、电子材料与服务，公司关注核心工艺，服务关键制程，立志成为国内领先的工艺装备及材料供应商。电子材料板块是公司在核心客户下游投资周期之后的运营周期中，为其提供稳定可持续服务的重要战略落点。公司近年来持续在该板块进行布局，已在电子大宗气站领域实现国内首个突破。目前公司已有两座电子级大宗气站稳定运行。威顿晶磷有着超过 15 年的电子级材料自主研发、生产、销售的背景，其稳健的生产和坚实的研发能力在国内同行中具备一定的优势。完成并购后，公司与威顿晶磷的整合将加速国产替代进程，能够进一步完善
公司在电子材料板块的布局，完善公司产品结构，补足产品线，形成完整的国产替代能力，为国内集成电路产业链的补全补强做出贡献，并扩大公司客户集群优势。同时，公司与威顿晶磷在客户群体上有一定的重合度，具有一定的客户协同性，有利于双方整合客户资源，为客户提供更全面的解决方案。
7、公司并购威顿晶磷是否会使现金流更加紧张？
答：公司并购威顿晶磷事项为通过发行股份及支付现金购买威顿晶磷 83.7775%股份，并购完成后，加上公司原先持有的股份，最终公司将持有威顿晶磷 97.4323%的股份。本次并购的配套募集资金部分将用于支付本次交易的现金对价，不会对公司的现金流产生压力，不会占用公司日常经营资金。
威顿晶磷数年来均为正向经营性现金流，材料业务属于现金流较好的业务，并购威顿晶磷有助于改善公司整体经营性现金流。
8、公司 2024 年度业绩情况如何？
答：公司于 2025 年 1 月 25 日披露《2024 年年度业绩预
告》，经财务部门初步测算，预计 2024 年度实现归属于母公司
所有者的净利润在 9,000 万元至 13,500 万元之间。2024 年归
属于上市公司股东的净利润下降主要系研发费用增长、单项计提信用减值准备以及非经常性损益